வேதியியல்-இயந்திர மெருகூட்டல் (CMP) பெரும்பாலும் வேதியியல் எதிர்வினை மூலம் மென்மையான மேற்பரப்புகளை உருவாக்குவதில் ஈடுபட்டுள்ளது, குறிப்பாக குறைக்கடத்தி உற்பத்தித் துறையில் வேலை செய்கிறது.லோன்மீட்டர்இன்லைன் செறிவு அளவீட்டில் 20 ஆண்டுகளுக்கும் மேலான நிபுணத்துவம் பெற்ற நம்பகமான கண்டுபிடிப்பாளரான , அதிநவீன தொழில்நுட்பத்தை வழங்குகிறது.அணுக்கரு அல்லாத அடர்த்தி மீட்டர்கள்மற்றும் குழம்பு மேலாண்மையின் சவால்களை நிவர்த்தி செய்ய பாகுத்தன்மை உணரிகள்.
குழம்பு தரத்தின் முக்கியத்துவம் மற்றும் லோன்மீட்டரின் நிபுணத்துவம்
வேதியியல் இயந்திர மெருகூட்டல் குழம்பு CMP செயல்முறையின் முதுகெலும்பாகும், இது மேற்பரப்புகளின் சீரான தன்மை மற்றும் தரத்தை தீர்மானிக்கிறது. சீரற்ற குழம்பு அடர்த்தி அல்லது பாகுத்தன்மை நுண்ணிய கீறல்கள், சீரற்ற பொருள் அகற்றுதல் அல்லது திண்டு அடைப்பு, வேஃபர் தரத்தை சமரசம் செய்தல் மற்றும் உற்பத்தி செலவுகளை அதிகரித்தல் போன்ற குறைபாடுகளுக்கு வழிவகுக்கும். தொழில்துறை அளவீட்டு தீர்வுகளில் உலகளாவிய முன்னணி நிறுவனமான லோன்மீட்டர், உகந்த குழம்பு செயல்திறனை உறுதி செய்வதற்காக இன்லைன் குழம்பு அளவீட்டில் நிபுணத்துவம் பெற்றது. நம்பகமான, உயர்-துல்லிய சென்சார்களை வழங்குவதில் நிரூபிக்கப்பட்ட சாதனையுடன், லோன்மீட்டர் செயல்முறை கட்டுப்பாடு மற்றும் செயல்திறனை மேம்படுத்த முன்னணி குறைக்கடத்தி உற்பத்தியாளர்களுடன் கூட்டு சேர்ந்துள்ளது. அவற்றின் அணு அல்லாத குழம்பு அடர்த்தி மீட்டர்கள் மற்றும் பாகுத்தன்மை சென்சார்கள் நிகழ்நேர தரவை வழங்குகின்றன, குழம்பு நிலைத்தன்மையை பராமரிக்கவும் நவீன குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் கடுமையான தேவைகளை பூர்த்தி செய்யவும் துல்லியமான சரிசெய்தல்களை செயல்படுத்துகின்றன.
இன்லைன் செறிவு அளவீட்டில் இரண்டு தசாப்தங்களுக்கும் மேலான அனுபவம், முன்னணி குறைக்கடத்தி நிறுவனங்களால் நம்பப்படுகிறது. லோன்மீட்டரின் சென்சார்கள் தடையற்ற ஒருங்கிணைப்பு மற்றும் பூஜ்ஜிய பராமரிப்புக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன, செயல்பாட்டு செலவுகளைக் குறைக்கின்றன. குறிப்பிட்ட செயல்முறை தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய வடிவமைக்கப்பட்ட தீர்வுகள், அதிக வேஃபர் மகசூல் மற்றும் இணக்கத்தை உறுதி செய்கின்றன.
குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் வேதியியல் இயந்திர பாலிஷிங்கின் பங்கு
வேதியியல்-இயந்திர பிளானரைசேஷன் என்றும் அழைக்கப்படும் வேதியியல் இயந்திர மெருகூட்டல் (CMP), குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் ஒரு மூலக்கல்லாகும், இது மேம்பட்ட சிப் உற்பத்திக்கு தட்டையான, குறைபாடு இல்லாத மேற்பரப்புகளை உருவாக்க உதவுகிறது. வேதியியல் பொறிப்பை இயந்திர சிராய்ப்புடன் இணைப்பதன் மூலம், CMP செயல்முறை 10nm க்கும் குறைவான முனைகளில் பல அடுக்கு ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளுக்குத் தேவையான துல்லியத்தை உறுதி செய்கிறது. நீர், வேதியியல் வினைப்பொருட்கள் மற்றும் சிராய்ப்பு துகள்களால் ஆன வேதியியல் இயந்திர மெருகூட்டல் குழம்பு, பாலிஷ் பேட் மற்றும் வேஃபருடன் தொடர்பு கொண்டு பொருளை சீராக நீக்குகிறது. குறைக்கடத்தி வடிவமைப்புகள் உருவாகும்போது, CMP செயல்முறை அதிகரித்து வரும் சிக்கலை எதிர்கொள்கிறது, குறைபாடுகளைத் தடுக்கவும் குறைக்கடத்தி ஃபவுண்டரிகள் மற்றும் பொருட்கள் சப்ளையர்களால் கோரப்படும் மென்மையான, மெருகூட்டப்பட்ட வேஃபர்களை அடையவும் குழம்பு பண்புகள் மீது இறுக்கமான கட்டுப்பாடு தேவைப்படுகிறது.
குறைந்தபட்ச குறைபாடுகளுடன் 5nm மற்றும் 3nm சில்லுகளை உற்பத்தி செய்வதற்கு இந்த செயல்முறை அவசியம், இது அடுத்தடுத்த அடுக்குகளின் துல்லியமான படிவுக்கு தட்டையான மேற்பரப்புகளை உறுதி செய்கிறது. சிறிய குழம்பு முரண்பாடுகள் கூட விலையுயர்ந்த மறுவேலை அல்லது மகசூல் இழப்புக்கு வழிவகுக்கும்.
சேறு பண்புகளை கண்காணிப்பதில் உள்ள சவால்கள்
வேதியியல் இயந்திர மெருகூட்டல் செயல்பாட்டில் சீரான குழம்பு அடர்த்தி மற்றும் பாகுத்தன்மையை பராமரிப்பது சவால்களால் நிறைந்துள்ளது. போக்குவரத்து, நீர் அல்லது ஹைட்ரஜன் பெராக்சைடுடன் நீர்த்தல், போதுமான கலவை அல்லது வேதியியல் சிதைவு போன்ற காரணிகளால் குழம்பு பண்புகள் மாறுபடலாம். உதாரணமாக, குழம்பு டோட்களில் துகள் படிவது அடிப்பகுதியில் அதிக அடர்த்தியை ஏற்படுத்தும், இது சீரற்ற மெருகூட்டலுக்கு வழிவகுக்கும். pH, ஆக்சிஜனேற்றம்-குறைப்பு திறன் (ORP) அல்லது கடத்துத்திறன் போன்ற பாரம்பரிய கண்காணிப்பு முறைகள் பெரும்பாலும் போதுமானதாக இருக்காது, ஏனெனில் அவை குழம்பு கலவையில் நுட்பமான மாற்றங்களைக் கண்டறியத் தவறிவிடுகின்றன. இந்த வரம்புகள் குறைபாடுகள், குறைக்கப்பட்ட அகற்றும் விகிதங்கள் மற்றும் அதிகரித்த நுகர்வு செலவுகளை ஏற்படுத்தும், குறைக்கடத்தி உபகரண உற்பத்தியாளர்கள் மற்றும் CMP சேவை வழங்குநர்களுக்கு குறிப்பிடத்தக்க அபாயங்களை ஏற்படுத்துகின்றன. கையாளுதல் மற்றும் விநியோகத்தின் போது கலவை மாற்றங்கள் செயல்திறனை பாதிக்கின்றன. 10nm க்கும் குறைவான முனைகளில் குழம்பு தூய்மை மற்றும் கலவை துல்லியம் மீது இறுக்கமான கட்டுப்பாடு தேவைப்படுகிறது. pH மற்றும் ORP குறைந்தபட்ச மாறுபாட்டைக் காட்டுகின்றன, அதே நேரத்தில் கடத்துத்திறன் குழம்பு வயதானதைப் பொறுத்து மாறுபடும். தொழில்துறை ஆய்வுகளின்படி, சீரற்ற குழம்பு பண்புகள் குறைபாடு விகிதங்களை 20% வரை அதிகரிக்கலாம்.
நிகழ்நேர கண்காணிப்புக்கான லோன்மீட்டரின் இன்லைன் சென்சார்கள்
லோன்மீட்டர் அதன் மேம்பட்ட அணுக்கரு அல்லாத குழம்பு அடர்த்தி மீட்டர்கள் மூலம் இந்த சவால்களை எதிர்கொள்கிறது மற்றும்பாகுத்தன்மை உணரிகள், இன்-லைன் பாகுத்தன்மை அளவீடுகளுக்கான இன்லைன் பாகுத்தன்மை மீட்டர் மற்றும் ஒரே நேரத்தில் குழம்பு அடர்த்தி மற்றும் பாகுத்தன்மை கண்காணிப்புக்கான அல்ட்ராசோனிக் அடர்த்தி மீட்டர் ஆகியவை அடங்கும். இந்த சென்சார்கள் CMP செயல்முறைகளில் தடையற்ற ஒருங்கிணைப்புக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன, இதில் தொழில்துறை-தரநிலை இணைப்புகள் உள்ளன. லோன்மீட்டரின் தீர்வுகள் அதன் வலுவான கட்டுமானத்திற்கு நீண்ட கால நம்பகத்தன்மை மற்றும் குறைந்த பராமரிப்பை வழங்குகின்றன. நிகழ்நேர தரவு ஆபரேட்டர்கள் குழம்பு கலவைகளை நன்றாகச் சரிசெய்யவும், குறைபாடுகளைத் தடுக்கவும், மெருகூட்டல் செயல்திறனை மேம்படுத்தவும் உதவுகிறது, இதனால் பகுப்பாய்வு மற்றும் சோதனை உபகரண சப்ளையர்கள் மற்றும் CMP நுகர்பொருட்கள் சப்ளையர்களுக்கு இந்த கருவிகள் இன்றியமையாததாகின்றன.
CMP உகப்பாக்கத்திற்கான தொடர்ச்சியான கண்காணிப்பின் நன்மைகள்
லோன்மீட்டரின் இன்லைன் சென்சார்கள் மூலம் தொடர்ச்சியான கண்காணிப்பு, வேதியியல் இயந்திர மெருகூட்டல் செயல்முறையை மாற்றியமைக்கிறது, இது செயல்படக்கூடிய நுண்ணறிவுகளையும் குறிப்பிடத்தக்க செலவு சேமிப்பையும் வழங்குகிறது. நிகழ்நேர குழம்பு அடர்த்தி அளவீடு மற்றும் பாகுத்தன்மை கண்காணிப்பு, தொழில்துறை அளவுகோல்களின்படி, கீறல்கள் அல்லது அதிகப்படியான பாலிஷ் செய்தல் போன்ற குறைபாடுகளை 20% வரை குறைக்கிறது. PLC அமைப்புடன் ஒருங்கிணைப்பு தானியங்கி டோசிங் மற்றும் செயல்முறை கட்டுப்பாட்டை செயல்படுத்துகிறது, குழம்பு பண்புகள் உகந்த வரம்புகளுக்குள் இருப்பதை உறுதி செய்கிறது. இது நுகர்வு செலவுகளில் 15-25% குறைப்பு, குறைக்கப்பட்ட வேலையில்லா நேரம் மற்றும் மேம்பட்ட வேஃபர் சீரான தன்மைக்கு வழிவகுக்கிறது. செமிகண்டக்டர் ஃபவுண்டரிகள் மற்றும் CMP சேவை வழங்குநர்களுக்கு, இந்த நன்மைகள் மேம்பட்ட உற்பத்தித்திறன், அதிக லாப வரம்புகள் மற்றும் ISO 6976 போன்ற தரநிலைகளுடன் இணங்குதல் ஆகியவற்றிற்கு வழிவகுக்கிறது.
CMP இல் சேறு கண்காணிப்பு பற்றிய பொதுவான கேள்விகள்
CMP-க்கு குழம்பு அடர்த்தி அளவீடு ஏன் அவசியம்?
குழம்பு அடர்த்தி அளவீடு சீரான துகள் விநியோகம் மற்றும் கலவை நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது, குறைபாடுகளைத் தடுக்கிறது மற்றும் வேதியியல் இயந்திர மெருகூட்டல் செயல்பாட்டில் அகற்றும் விகிதங்களை மேம்படுத்துகிறது. இது உயர்தர வேஃபர் உற்பத்தி மற்றும் தொழில்துறை தரநிலைகளுடன் இணங்குவதை ஆதரிக்கிறது.
பாகுத்தன்மை கண்காணிப்பு CMP செயல்திறனை எவ்வாறு மேம்படுத்துகிறது?
பாகுத்தன்மை கண்காணிப்பு சீரான குழம்பு ஓட்டத்தை பராமரிக்கிறது, திண்டு அடைப்பு அல்லது சீரற்ற பாலிஷ் போன்ற சிக்கல்களைத் தடுக்கிறது. லோன்மீட்டரின் இன்லைன் சென்சார்கள் CMP செயல்முறையை மேம்படுத்தவும் வேஃபர் விளைச்சலை மேம்படுத்தவும் நிகழ்நேர தரவை வழங்குகின்றன.
லோன்மீட்டரின் அணுக்கரு அல்லாத குழம்பு அடர்த்தி மீட்டர்களை தனித்துவமாக்குவது எது?
லோன்மீட்டரின் அணுக்கரு அல்லாத குழம்பு அடர்த்தி மீட்டர்கள், அதிக துல்லியம் மற்றும் பூஜ்ஜிய பராமரிப்புடன் ஒரே நேரத்தில் அடர்த்தி மற்றும் பாகுத்தன்மை அளவீடுகளை வழங்குகின்றன. அவற்றின் வலுவான வடிவமைப்பு, தேவைப்படும் CMP செயல்முறை சூழல்களில் நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.
குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் வேதியியல் இயந்திர மெருகூட்டல் செயல்முறையை மேம்படுத்துவதற்கு நிகழ்நேர குழம்பு அடர்த்தி அளவீடு மற்றும் பாகுத்தன்மை கண்காணிப்பு மிக முக்கியமானவை. லோன்மீட்டரின் அணு அல்லாத குழம்பு அடர்த்தி மீட்டர்கள் மற்றும் பாகுத்தன்மை சென்சார்கள், குறைக்கடத்தி உபகரண உற்பத்தியாளர்கள், CMP நுகர்பொருட்கள் சப்ளையர்கள் மற்றும் குறைக்கடத்தி ஃபவுண்டரிகளுக்கு குழம்பு மேலாண்மை சவால்களை சமாளிக்க, குறைபாடுகளைக் குறைக்க மற்றும் செலவுகளைக் குறைக்க கருவிகளை வழங்குகின்றன. துல்லியமான, நிகழ்நேர தரவை வழங்குவதன் மூலம், இந்த தீர்வுகள் செயல்முறை செயல்திறனை மேம்படுத்துகின்றன, இணக்கத்தை உறுதி செய்கின்றன மற்றும் போட்டி CMP சந்தையில் லாபத்தை அதிகரிக்கின்றன. வருகைலோன்மீட்டரின் வலைத்தளம்அல்லது லோன்மீட்டர் உங்கள் வேதியியல் இயந்திர மெருகூட்டல் செயல்பாடுகளை எவ்வாறு மாற்றும் என்பதைக் கண்டறிய இன்றே அவர்களின் குழுவைத் தொடர்பு கொள்ளவும்.
இடுகை நேரம்: ஜூலை-22-2025
